cc-a型系列超高真空插板閥技術(shù)性能
cc-a型系列超高真空插板閥是通過(guò)手柄以螺桿傳動(dòng)推動(dòng)鋼球架運(yùn)動(dòng)，撐開(kāi)閥板關(guān)閉，又靠彈簧力收攏閥板，打開(kāi)后再退出的真空閥門(mén)。閥門(mén)適用于超高真空系統(tǒng)中接通或截止氣流之用。高真空系統(tǒng)中接通或截止氣流之用。適用的工作介質(zhì)為潔凈的空氣和非腐蝕性氣體。
主要技術(shù)性能
適用范圍(pa)
105～1.3x10-7
閥門(mén)漏率(pa.l/s)
dn≤200為≤1.3x10-7dn≥250為≤6.7x10-7
閥門(mén)烘烤溫度（℃）
≤150(除傳動(dòng)裝置外)
開(kāi)閥時(shí)閥板兩側(cè)壓力差(pa)
≤2.7x103
閥板密封件
氟橡膠
軸封處密封件
不銹鋼波紋管
連接及外形尺寸
型號(hào)
通徑(dn)
φd
φd0
φd1
φd2
φd3
h
a
n-d
l
l1
b
法蘭標(biāo)準(zhǔn)
cc-50a
50
89
72.4
61.6
55.6
/
60
91
8-m8
493
165
80
gb/t6071
cc-63a
63
114
92.1
82.6
76.6
/
65
105
8-m8
547
190
80
cc-80a
80
130
110
99
93
/
65
130
16-m8
607
225
80
cc-100a
100
152
130.2
120.7
114.7
/
70
152
16-m8
660
267
100
cc-150a
150
202
181
171.5
165.5
/
70
202
20-m8
784
350
100
cc-200a
200
254
231.8
222.3
216.6
/
80
251
24-m8
882
426
100
cc-250a
250
314
288
308
275
271
85
300
24-m10
1146
570
130
jb5278
cc-300a
300
365
338
353
323
318
90
352
32-m10
1206
613
130
/
關(guān)鍵詞：真空閥 真空閥門(mén)