用于真空的準(zhǔn)分子紫外線系統(tǒng)介紹
基于準(zhǔn)分子光源特點(diǎn)，我們來看看準(zhǔn)分子光源是如何產(chǎn)生作用的。以準(zhǔn)分子波長(zhǎng)172 nm為例，紫外線照射固體表面后，表面的污染物有機(jī)分子結(jié)合被強(qiáng)的光能切斷、氧化，而后分解成氧氣和氫氣等易揮發(fā)性物質(zhì)，最終揮發(fā)消失，被清洗后的表面清潔度高。1、打破分子鍵打破有機(jī)物質(zhì)的分子鍵的能量需要超過物質(zhì)結(jié)合能的光能，同時(shí)物質(zhì)的能量吸收（激發(fā)）越大，就越容易引發(fā)反應(yīng)（分解）并且所需的處理時(shí)間越短。因此使用低壓紫外線燈無法打破的結(jié)合能可以使用準(zhǔn)分子燈產(chǎn)生的 172nm 波長(zhǎng)進(jìn)行分解。2、大量產(chǎn)生激發(fā)態(tài)氧原子
準(zhǔn)分子紫外線燈與傳統(tǒng)汞紫外線燈比較，光強(qiáng)超大，靶向精準(zhǔn)，無汞制造，綠色環(huán)保，可回收，無二次污染。與低壓紫外燈的185nm波長(zhǎng)相比，準(zhǔn)分子燈172nm波長(zhǎng)的分子氧吸收系數(shù)大20倍左右。這不僅可以產(chǎn)生高密度的活性氧，而且通過直接作用于氧氣，可以產(chǎn)生具有強(qiáng)大氧化能力的強(qiáng)激發(fā)氧。
eximer真空光源和準(zhǔn)分子真空靜電消除器易于安裝到帶 icf114 法蘭的真空室視口。通過使用風(fēng)冷準(zhǔn)分子燈的簡(jiǎn)單系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了低成本和高性能。 可以瞬時(shí)打開和關(guān)閉。
特征真空室等靜電問題的對(duì)策
卷對(duì)卷薄膜抗靜電
晶圓等靜電卡盤的吸附和運(yùn)輸措施
防止因電氣化而吸附異物的對(duì)策
電子顯微鏡的靜電對(duì)策
通過帶電實(shí)現(xiàn)均勻的薄膜厚度，防止針孔
規(guī)范
波長(zhǎng) 172 納米
真空法蘭端口 icf114 （兼容jis法蘭）
冷卻方式 風(fēng)冷
功能 燈亮起、熄滅
光源尺寸 寬 300 x 高 157 x 深 180 mm
電源尺寸 寬 250 x 高 133 x 深 200 mm
權(quán)力 ac100v 50/60hz 2a 帶接地端子
氣 n2
電纜長(zhǎng)度（燈~電源） 0，5 米
環(huán)境規(guī)格 溫度15-30°c，濕度20-80%，無冷凝、腐蝕、振動(dòng)的環(huán)境條件。