利用光電直讀光譜法測量試樣中元素含量時，誤差總是難以避免，每次測量的數(shù)值與真值之間通常存在差距。誤差得主要來源可分為系統(tǒng)誤差、偶然誤差和過失誤差，操作人員應(yīng)了解誤差的來源，針對性地改進(jìn)操作方法，積極采取有效減小誤差的方法，提高分析結(jié)果的準(zhǔn)確性。
系統(tǒng)誤差
系統(tǒng)誤差是指分析過程中經(jīng)常發(fā)生的比較固定的原因造成的誤差，可以通過測量確定。系統(tǒng)誤差可以看作時對測定值的校正值，決定了測定結(jié)果的準(zhǔn)確度。
1.分析固體金屬材料時，因為金屬鍛造過程的不同等因素，分析試樣和標(biāo)準(zhǔn)試樣的組織狀態(tài)也會不同，導(dǎo)致分析時某些元素測定的結(jié)果不同。
2.試樣中除基體元素和分析元素以外的其它元素與標(biāo)樣中的其它元素含量和化學(xué)組成不同，引起基體線和分析線強度的改變。
3.光譜標(biāo)樣在化學(xué)分析定值時帶來的系統(tǒng)誤差。未知元素譜線的重疊干擾也會造成誤差。
4.氬氣不純，含有氧氣或水蒸氣，使激發(fā)斑點變壞。氬氣管道有污染物或濁漏也會引起系統(tǒng)誤差。
5.鎢電極與透鏡在上一次使用后沒有及時清理。
6.電源電壓波動超過10%。
偶然誤差
偶然誤差即隨機誤差，由環(huán)境溫度、振動、灰塵等偶然因素引起。
1.試樣成分不均勻，導(dǎo)致樣品中元素分布和組織結(jié)構(gòu)不均勻，從而使不同部位的分析結(jié)果不同。
2.試樣表面不平整?；蛘哂辛鸭y、氣孔等缺陷。
3.試樣厚度太薄，磨樣時容易過燒，激發(fā)時也容易擊穿。
4.分析樣品與控制標(biāo)樣操作不一致。
過失誤差
過失誤差由分析人員操作失誤造成，沒有規(guī)律，只能靠操作人員正確操作解決。