1．微傳感器的概念
⑴就單一傳感器而言，微傳感器是指尺寸微小的傳感器，如敏感元件的尺寸從微米級到毫米級、甚至達(dá)到納米級，主要采用精密加工、微電子以及微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)傳感器尺寸的縮小。
⑵就集成的傳感器而言，微傳感器是指將微小的敏感元件、信號處理器、數(shù)據(jù)處理裝置封裝在一塊芯片上而形成的集成的傳感器。
⑶就傳感器系統(tǒng)而言，微傳感器是指傳感系統(tǒng)中不但包括微傳感器，還包括微執(zhí)行器，可以獨(dú)立工作，甚至由多個(gè)微傳感器組成傳感器網(wǎng)絡(luò)，或者可實(shí)現(xiàn)異地聯(lián)網(wǎng)。
2．微傳感器的特點(diǎn)
⑴體積小、重量輕
⑵功耗低
⑶性能好
⑷易于批量生產(chǎn)、成本低
⑸便于集成化和多功能化
⑹提高傳感器化智能化水平
3．微傳感器分類
按照被測量的物理性質(zhì)，將微型傳感器分為化學(xué)微傳感器、生物微傳感器、物理微傳感器等。