變極距(δ)型: (a)、(e)
變面積型(a)型: (b)、(c)、(d)、(f)、(g) (h)
變介電常數(shù)(ε )型: (i)~(l)
(1) 變極距型電容傳感器
(2) 變面積型電容傳感器
角位移:極板2的軸由被測物體帶動而旋轉(zhuǎn)一個角位移θ度時,兩極板的遮蓋面積a↓→電容量↓。
板狀線位移:極板2可以左右移動。極板1固定不動。
筒形:外圓筒不動,內(nèi)圓筒在外圓筒內(nèi)作上、下直線運動。
(3) 變介電常數(shù)型電容傳感器
因為各種介質(zhì)的相對介電常數(shù)不同,所以在電容器兩極板間插入不同介質(zhì)時,電容器的電容量也就不同。這種傳感器可用來測量物位或液位,也可測量位移。
表1 幾種介質(zhì)的相對介電常數(shù)
介質(zhì)名稱
相對介電常數(shù)εr
介質(zhì)名稱
相對介電常數(shù)εr
真空
1
玻璃釉
3~5
空氣
略微>1
二氧化硅
38
其他氣體
1~1.2
云母
5~8
變壓器油
2~4
干的紙
2~4
硅油
2~3.5
干的谷物
3~5
聚丙烯
2~2.2
環(huán)氧樹脂
3~10
聚苯乙烯
2.4~2.6
高頻陶瓷
10~160
聚四氟乙烯
2.0
低頻陶瓷、壓電陶瓷
1000~10000
聚偏二氟乙烯
3~5
純凈的水
80