電容式傳感器是將被測量（如尺寸、壓力等）的變化轉(zhuǎn)換成電容量變化的--種傳感器。
1．工作原理
由物理學(xué)可知，兩個平行金屬極板組成的電容器，如果不考慮其邊緣效應(yīng)，其電容為
c=(s/d
式中 ε--兩個極板間介質(zhì)的介電常數(shù)；
s--兩個極板相對有效面積；
d--兩個極板間的距離
由上式可知，改變電容c的方法有三種，其一為改變介質(zhì)的介電常數(shù)ε；其二為改變形成電容的有效面積；其三為改變兩個極板間的距離。而得到電參數(shù)的輸出為電容值的增量δc，這就成了電容式傳感器。
2．類型
根據(jù)上述原理，在應(yīng)用中電容式傳感器可以有三種基本類型，即變極距（或稱變間隙）型、變面積型和變介電常數(shù)型。它們的電極形狀有平板形、圓柱形和球平面形三種。
a）極距d變化型
d0小，大。但d0過小，易引起擊穿或短路。可采用高介電常數(shù)的材料（如云母等）作介質(zhì)。
一般c0=20~100pf，d0=25~200μm，微位移測量
b）面積變化型
c）介質(zhì)變化型