擴(kuò)散硅壓力傳感器的溫漂是怎么產(chǎn)生的?

發(fā)布時間:2024-02-29
在學(xué)習(xí)和使用壓力傳感器的過程中我們經(jīng)常會聽到溫漂一詞,那么什么是溫漂,壓力傳感器的溫漂又是如何產(chǎn)生的呢?
溫漂:是指受溫度影響而引起的零點(diǎn)不穩(wěn)定。
擴(kuò)散硅壓力傳感器的溫漂主要來源于兩個方面:
方面是零部件本身的溫漂;
第二方面是傳感器在膨脹過程中產(chǎn)生的應(yīng)力,傳感器的核心器件是壓力芯片,壓力芯片本身對溫度就比較敏感,會隨著溫度的變化產(chǎn)生一定的漂移量;另外在封裝過程中,傳感器需要充灌硅油,以便把力從壓力膜片,傳導(dǎo)到壓力芯片上,硅油在溫度變化中,產(chǎn)生熱脹冷縮,從而產(chǎn)生一定的應(yīng)力,這個應(yīng)力作用到壓力芯片上,造成傳感器的漂移;還有就是壓力芯片,他是用膠和傳感器底座連接在一起的,由于壓力芯片和傳感器底座是兩種不同的材料,膨脹系數(shù)不一樣,所以在溫度變化中兩種不同膨脹系數(shù)的材料之間也會產(chǎn)生一定的應(yīng)力,從而產(chǎn)生一定的溫漂,這些是擴(kuò)散硅壓力傳感器溫漂的主要來源。
為在一定程度上減少壓力傳感器的溫漂,技術(shù)人員在設(shè)計壓力傳感器的過程中,要盡量減少充油芯體相及的體積,以減少充油的量,在粘接壓力芯片的過程中,盡量選用合適的膠,以減少粘結(jié)產(chǎn)生的應(yīng)力,傳感器底座材料的選擇,要考慮和壓力芯片,膨脹系數(shù)相近的材料,從而減少溫漂的產(chǎn)生。
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