熱式氣體質(zhì)量流量控制器
型號；ldx-s48 32/hmt
編號
項目
s48 32/hmt
1
流量規(guī)格
(10,20,30,50,100,200,300,500)ml/min;
(1,2,3,5,10,20,30)l/min
2
調(diào)節(jié)閥類型
電磁調(diào)節(jié)閥
3
調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)
常閉
4
安裝方向
任意
5
流量控制范圍
2%-
6
流量測量范圍
(0-100)%
7
零點溫漂
0.6%f.s.(15~35℃)
8
響應(yīng)時間
2s(t98,設(shè)定值的±2%f.s.)
9
工作環(huán)境溫度
5~50℃
10
精度保證溫度
15~35℃
11
精度
±1.0%f.s
12
線性
±0.5%f.s
13
重復(fù)精度
±0.2%f.s
14
工作壓差范圍
~5l/min:(0.05-0.3)mpa
10l/min~30l/min:(0.1-0.3)mpa
15
耐壓
3mpa
16
漏率
1×10-8pa.m3/s(he)
17
管路接頭
1/4′swagelok,φ6mm-φ10mm
18
供電電源
±15vdc(±5%) ＋15v,100ma;－15v, 200ma
19
設(shè)定信號
(0-5)vdc
輸入阻抗>1mω
20
流量輸出信號
(0-5)vdc
負(fù)載輸出電流能力≤3ma
21
電氣接頭
d-sub15
22
尺寸 (mm)
113（寬）×121（高）×32（厚）