熱式氣體質(zhì)量流量計專用于單一組分的氣體或固定比例的混合氣體測量，目前已廣泛應用于石油、化工、半導體、醫(yī)療儀器、生物工程、燃燒控制、配氣、環(huán)境監(jiān)測、精密儀器、科研、計量、食品、冶金、航天航空等領(lǐng)域。
熱式質(zhì)量流量計用于精密測量和自動控制氣體的質(zhì)量流量。采用標準輸入輸出信號，可實現(xiàn)計算機集中控制。在大慶石化公司就有多種形式的應用，比如聚丙烯裝置氫氣流量表ft-121a/b采用的是brooks量熱流量計，量程為1.45kg/h和9.5kg/h。與傳統(tǒng)的流量計相比，它不需配置溫度、壓力變送器，不用進行溫度、壓力的補償就能直接測量質(zhì)量流量(在標準狀態(tài)下，0℃，101.325kpa)。當氣體作為生產(chǎn)過程中的控制變量時(例如燃燒、化學反應、通風排氣、產(chǎn)品烘干等)，使用質(zhì)量流量控制器直接測量，可控制氣體的克分子數(shù)量。
如果要保持定量的氣體混合作為混料或配料，或者要優(yōu)化化學反應過程，到目前為止還沒有比使用質(zhì)量流量控制器更好的技術(shù)。質(zhì)量流量控制器連續(xù)可調(diào)控制流量，通過顯示儀還可獲得累積流量。
熱式質(zhì)量流量計還是管道系統(tǒng)、閥門類密封性檢測的較好儀器，它直接顯示漏氣量。質(zhì)量流量計性能價格比高，易于安裝，操作簡便，使用質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品是的選擇之一。
由于此類質(zhì)量流量計的傳感器是熱式原理，如果氣體不是干燥的氣體，將影響傳熱效率，從而影響傳感器的輸出信號和測量精度。