xd302系列為開環(huán)式二維θx、θy運動的壓電偏轉(zhuǎn)鏡，是專為高動態(tài)應用而設計，空載諧振頻率高達15khz，且體積小巧，適于空間受限的應用。
特點
二維偏轉(zhuǎn)運動
體積緊湊
開環(huán)，高分辨率
適于高動態(tài)應用
應用
xd302系列小體積壓電偏轉(zhuǎn)鏡適于激光加工快速掃描、激光光路穩(wěn)定等各種光路調(diào)節(jié)等。
兩種型號
xd302系列二維壓電偏轉(zhuǎn)鏡，具有xd302-d1與xd302-d2兩種型號，兩種型號的位移分別為3mrad、1.5mrad，兩個版本的空載諧振頻率都高達15khz。并且，它們的體積非常緊湊，外徑僅15.6mm，高分別為30mm、21mm。
xd302-d1壓電偏轉(zhuǎn)鏡
xd302-d1技術(shù)參數(shù)
型號：xd302-d1
運動方向：θx、θy
標稱行程范圍（0~120v）：3或±1.5mrad
開環(huán)分辨率：0.03μrad
空載諧振頻率：15 khz
帶載諧振頻率（φ12.5×3mm鏡片）：10 khz
靜電容量：1.6μf/軸
材料：鈦合金、鋼
質(zhì)量：30g
驅(qū)動控制：三路驅(qū)動（含1路恒壓）
外徑/高：15.6/30mm
xd302-d2壓電偏轉(zhuǎn)鏡
xd302-d2技術(shù)參數(shù)
型號：xd302-d2
標稱行程范圍（0~120v）：1.5或±0.75mrad
開環(huán)分辨率：0.02μrad
空載諧振頻率：15 khz
帶載諧振頻率（φ12.5×3mm鏡片)：10 khz
靜電容量：0.7μf/軸
材料：鈦合金、鋼
質(zhì)量：20g
驅(qū)動控制：三路驅(qū)動（含1路恒壓）
外徑/高：15.6/21mm
偏轉(zhuǎn)角度與驅(qū)動電壓曲線