帶燈加熱的直接液體噴射汽化器使 mc-050成為一種獨特的機器，具有像集群工具一樣的多工藝能力，但在一個單一的工藝室內(nèi)。annealsys mc-050系統(tǒng)是為滿足研發(fā)單位的要求而開發(fā)的2英寸dli-cvd/dli-ald反應(yīng)器。紅外燈爐與直接液體注入蒸發(fā)器相結(jié)合，在同一工藝室內(nèi)提供獨特的多工藝。下文小編將為您詳細(xì)講解有關(guān)《優(yōu)勢供應(yīng)annealsys快速熱化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)mc》等內(nèi)容，歡迎您繼續(xù)閱讀，祝您生活愉快，謝謝~ 帶燈加熱的直接液體噴射汽化器使 mc-050成為一種獨特的機器，具有像集群工具一樣的多工藝能力，但在一個單一的工藝室內(nèi)。
annealsys mc-050系統(tǒng)是為滿足研發(fā)單位的要求而開發(fā)的2英寸dli-cvd/dli-ald反應(yīng)器。
紅外燈爐與直接液體注入蒸發(fā)器相結(jié)合，在同一工藝室內(nèi)提供獨特的多工藝能力：cvd、ald、mocvd、rtp 和 rtcvd。
直接液體注入 (dli) 蒸發(fā)器可控制前體流量，并允許使用低蒸氣壓和稀釋的化學(xué)前體。與旁通閥相關(guān)的前體蒸汽流的快速切換為納米層壓板的沉積提供了界面控制。
mc-050是使用廣泛的固體和液體有機金屬前體開發(fā)新材料和納米層壓材料的機器。
性能特點 mc-050 可以使用廣泛的有機金屬前體進(jìn)行化學(xué)氣相沉積和原子層沉積工藝，同時提供原位退火功能。
氣體混合能力與質(zhì)量流量控制器6個汽化器手套箱裝載選項可選擇高真空能力
可選功能與配件 mc-050可配備6個直接液體注入蒸發(fā)器和兩個用于高蒸氣壓前體的起泡器。
高溫計溫度控制粗真空泵、渦輪泵手套箱接口和手套箱遠(yuǎn)程等離子臭氧發(fā)生器
技術(shù)參數(shù) 基板尺寸：直徑可達(dá)2英寸溫度范圍：室溫至 1100°c電壓：3x400v+n+gr/3x220v+gr功率：21千瓦水：2至4巴，壓降1巴，8升/分鐘壓縮空氣：6巴（閥門驅(qū)動）真空范圍：大氣壓至 10-3 torr產(chǎn)地：法國
產(chǎn)品應(yīng)用 mc-050提供了廣泛的新材料開發(fā)能力，包括單金屬氧化物和多金屬氧化物以及過渡金屬●二硫化物 (tmd) 和其他二維材料。
簡單和多金屬氧化物金屬、氮化物和合金iii-v，寬帶隙半導(dǎo)體二維材料：石墨烯、氮化硼、mos2、ws2、mose2、wse2 ...etc
詳細(xì)參數(shù)
產(chǎn)品應(yīng)用
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