用途：
支持多種應(yīng)用程序
支持wl-csp、igbt、cis等的光刻6/8/12英寸。
特長(zhǎng)：
寬帶曝光（與配方聯(lián)動(dòng)的自動(dòng)切換ghi線gh線，i線）。
搭載可變na功能（0.16和0.1的可變）。
最多8個(gè)字段的條形圖設(shè)計(jì)格式。
由抗蝕氣體和周邊環(huán)境化學(xué)保護(hù)的光學(xué)系統(tǒng)。
規(guī)格：
型式pps-8200/8300
ウェーハサイズ6/8/12インチ
解像力2.0 µml/s(2.0 µm レジスト厚)
na（開口數(shù)）0.16、0.1可変
縮小比1:1
fieldサイズ52mm × 33mm
露光波長(zhǎng)ghi-line gh-line i-line(レシピ連動(dòng))
レチクルサイズ6inch
重ね合せ精度≦0.5 µm(|ave|+3σ)
裝置サイズ／重量（w）2,260×（d）3,460×（h）2,500mm / 5,500kg
主要オプションバックサイドアライメントシステム
ウェーハ周辺露光システム
ウェーハ周辺非露光システム
薄ウェーハ搬送システム
gem通信対応
インライン対応