一種壽命長、價格低、性能高、可進行多種啟閉操作的蝶閥。
一種壽命長、價格低、性能高、可進行多種啟閉操作的蝶閥。長壽命100萬次循環(huán)
價格低廉 可以以較低的價格實現(xiàn)自動壓力控制。
高性能：采用高性能伺服電機、伺服放大器、新型驅(qū)動機構(gòu)。
可實現(xiàn)高性能泄漏規(guī)格（*注1）、多級位置控制、自動壓力控制。還可以通過閥門 o 形圈提供緊固公差 o 規(guī)格，從而實現(xiàn)最小電導(dǎo)。
nw25 尺寸提供最小直徑 20a。（20a nw25 尺寸還可配備 o 形圈，實現(xiàn)閉的密封。）
特征低成本閥門mbv-sdⅱ-m4-arj系列是一款不帶閥門o型圈的電導(dǎo)控制專用電動蝶閥。
采用通用性強的三菱電機伺服電機作為閥體的驅(qū)動源，閥體可以停止并保持在全閉、全開或任何其他位置。
現(xiàn)在可以多級改變閥門的開口面積，使其能夠用于廣泛的應(yīng)用，例如保持真空容器內(nèi)的恒定壓力，改變閥門前后的壓力，以及改變排氣流導(dǎo)。
中間停止位置可通過計算機軟件或伺服放大器預(yù)先設(shè)定，內(nèi)存中最多可存儲13個位置。
通過從plc等主機系統(tǒng)發(fā)送信號，機器將以良好的重復(fù)性停止在設(shè)定位置。
通過將可選的雙自動壓力控制系統(tǒng)控制器與fpc系列組合，可以實現(xiàn)包括自動壓力控制在內(nèi)的各種控制。
mbv-sdⅱ-m4-arj系列主要規(guī)格法蘭型jis/iso/cf/nw
泄漏量1×10-9 pa?m3/s以下
使用面積105 ~ 10-6 帕
盤式密封沒有任何
軸封viton o 型圈 2 級
口徑20a～100a
電源規(guī)格主電源 ac200v（額定電流 1.5a）控制電源 ac200v（額定電流 0.2a）接口電源 dc24v（最大 500ma）
控制方式交流伺服方式
氣體接觸材料sus304