質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應質(zhì)譜儀主要用于無機元素微量分析和同位素分析等方面。分為火花源質(zhì)譜儀、離子探針質(zhì)譜儀、激光探針質(zhì)譜儀、輝光放電質(zhì)譜儀、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀。質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應質(zhì)譜儀不僅可以進行固體樣品的整體分析，而且可以進行表面和逐層分析甚至液體分析；激光探針質(zhì)譜儀可進行表面和縱深分析；質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應質(zhì)譜儀分辨率高，可進行高靈敏度，高精度分析，適用范圍包括元素周期表中絕大多數(shù)元素，分析速度快，便于進行固體分析；電感耦合等離子體質(zhì)譜，譜線簡單易認，靈敏度與測量精度很高。
質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應質(zhì)譜儀的結(jié)構(gòu)及特點：
質(zhì)譜儀除了在測量原理中介紹的質(zhì)量分離部件外，還包括以下幾部分。
1、離子源離子源的作用是把樣品中的原子(分子)電離成離子，目前已經(jīng)有十幾種離子源，分別采用粒子轟擊、場致電離、氣體放電、離子—分子反應等工作原理。選用離子源時要考慮使用范圍、離子流的強度、穩(wěn)定度、角度分散和速度分散，以配合適當?shù)馁|(zhì)量分離部件和檢測器。離子源是使試樣分子在高真空條件下離子化的裝置。電離后的分子因接受了過多的能量會進一步碎裂成較小質(zhì)量的多種碎片離子和中性粒子。它們在加速電場作用下獲取具有相同能量的平均動能而進入質(zhì)量分析器。
2、檢測器檢測器的作用是檢測從質(zhì)量部件中出來的電子，即接收離子后將其變成電流，或者濺射出二次電子且被逐級加速倍增后成為電信號輸出。檢測器一般采用法拉第筒、電子倍增檢測器、后加速式倍增檢測器。
3、真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)的作用是使進樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分離部件和檢測器保持一定的真空度，以保證離子在離子源及分析系統(tǒng)中沒有不必要的粒子碰撞、散射效應、離子-分子反應和復合效應。
4、電學系統(tǒng)電學系統(tǒng)包括供電系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。