為1-3維直線掃描臺(tái)。臺(tái)體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn)x、xy、xyz大370μm 的高速掃描，大通光孔徑為ø35mm，多種位移行程及規(guī)格型號(hào)可供選擇，適用于大行程多維掃描等應(yīng)用。
特性：
•大位移370μm
•大承載3.5kg
•通孔直徑：ø35mm
1~3維掃描臺(tái)
p18壓電掃描臺(tái)包括x/xy/xyz三種結(jié)構(gòu)形式，可以 滿足1~3維大行程掃描或定位的應(yīng)用需求。
典型應(yīng)用
•閉環(huán)重復(fù)定位精度高 •響應(yīng)速度快
•圖像處理與穩(wěn)定 •掃描顯微
•干涉/計(jì)量 •表面檢測(cè)
•半導(dǎo)體測(cè)量 •光學(xué)計(jì)量
大位移、大承載、高剛度、高頻響