美國萊特浩斯hpc1100高壓控制器優(yōu)點和應(yīng)用范圍 產(chǎn)品介紹：
hpc 1100 高壓控制器采用的新設(shè)計理念和技術(shù)，與萊特浩斯 0.1μm 的粒子計數(shù)器配合，監(jiān)測高壓環(huán)境（30 到 150psi）下的惰性氣體系統(tǒng)的工業(yè)氣體污染。
應(yīng)用：
過程認(rèn)證
半導(dǎo)體工藝監(jiān)測
平板過程監(jiān)控
過程趨勢分析
優(yōu)點：
在正常操作期間零浪費惰性氣體
輸出壓力接近大氣壓力
低噪聲
小尺寸
易于系統(tǒng)集成
支持0.1μm靈敏度、1立方英尺流量（28.3l/min)的塵埃粒子計數(shù)器
可用于任何惰性氣體
容易設(shè)置
安裝簡單
前裝式流量計
直觀的用戶控制
安靜的操作
快速吹掃和清理
內(nèi)部和外部vcr接頭
不銹鋼結(jié)構(gòu)
技術(shù)參數(shù)：
氣體粒徑范圍：0.1μm或更大的
流量范圍：1立方英尺(28.3l/min)
輸出壓力:接近大氣壓
輸入壓力：30-150 psi
兼容的氣體：氮，氬，氦，cda
運行時的噪聲水平：< 60分貝
外殼：不銹鋼