在真空科學(xué)與技術(shù)中，“真空”詞被理解為低于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的氣體狀態(tài)。這種狀態(tài)同正常的大氣狀態(tài)相比較，氣體較為稀薄，即單位體積內(nèi)的分子數(shù)目較少，分子之間或分子與其它粒子（如電子、離子）之間的碰撞幾率減少，分子在單位時(shí)間內(nèi)碰撞于單位表面積（如器壁）上的次數(shù)也相對(duì)減少。這些是“真空”的主要特性。真空常用帕斯卡（pa）或托爾（torr）作為壓力的單位（1 torr = 133.3 pa）。在自然環(huán)境里，只有外太空堪稱(chēng)*接近真空的空間。
真空技術(shù)專(zhuān)業(yè)名詞
1.標(biāo)準(zhǔn)大氣壓
在重力加速度為980.665cm/s2，水銀溫度為0℃，密度為13.5951g/cm3的條件下，760mm高的汞柱產(chǎn)生的壓力，稱(chēng)為標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的值為：
2.真空度
表示真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度，通常用壓力值來(lái)表示。
3.真空區(qū)域劃分
低真空：1e5pa～1e2pa
中真空：1e2pa～1e-1pa
高真空：1e-1pa～1e-5pa
超高真空：1e-5pa～1e-9pa
*高真空：低于1e-9pa
4.全壓力
混合氣體中所有組分壓力的總和。
5.分壓力
混合氣體中某一組分的壓力。
6.平均自由程
一個(gè)分子與其它氣體分子每連續(xù)兩次碰撞之間的平均路程，叫平均自由程。平均自由程與壓力、溫度及分子直徑等因素有關(guān)。對(duì)于室溫下的空氣，平均自由程近似值由下式給出：
式中λ—平均自由程，m；p—?dú)怏w壓力，pa。
7.粘滯流
氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)小于導(dǎo)管最小截面尺寸的流態(tài)。因此，流動(dòng)取決于氣體的粘滯性，粘滯流可以是層流或滯流。
8.分子流
氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)大于導(dǎo)管截面最大尺寸的流態(tài)。
9.中間流
在粘滯流和分子流之間狀態(tài)下氣體通過(guò)導(dǎo)管的流動(dòng)。
10.流量
在給定時(shí)間間隔內(nèi)通過(guò)某一截面的氣體量除以該時(shí)間。
11.吸附
固體或液體對(duì)氣體或蒸氣的捕集現(xiàn)象。
12.解吸
被材料吸附的氣體或蒸氣的釋放現(xiàn)象。
13.去氣
氣體從材料中人為的解吸。
14.放氣
氣體從材料中自然的解吸。
15.滲透
氣體通過(guò)固體阻擋層的現(xiàn)象。
注：只列出常用真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)，如果需要其它術(shù)語(yǔ)的解釋?zhuān)?qǐng)查閱真空標(biāo)準(zhǔn)gb/t3163-2007。