氦檢漏儀是使用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓力測(cè)量原理，完成被檢件的氦泄露量測(cè)量。當(dāng)被檢件密封面上存在漏孔時(shí)，示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會(huì)從漏孔泄出，泄露出來(lái)的氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后，由于氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇性識(shí)別能力，僅給出氣體中的氦氣分壓力信號(hào)值。在取得氦氣信號(hào)值的基礎(chǔ)上，經(jīng)過(guò)規(guī)范漏孔比對(duì)的辦法就能夠取得漏孔對(duì)氦泄露量，從而進(jìn)行真空法氦檢漏儀維修。
選用真空法氦檢漏儀維修時(shí)，需要使用輔助真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，選用氦罩或噴吹的辦法在被檢產(chǎn)品外外表施氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品外表有漏孔時(shí)，氦氣就會(huì)經(jīng)過(guò)漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而完成被檢產(chǎn)品泄露量測(cè)量。依照施漏氣體辦法的不同，又能夠?qū)⒄婵辗ǚ譃檎婵諊姶捣ê驼婵蘸ふ址?。其間真空噴吹法選用噴槍的方法向被檢產(chǎn)品外外表噴吹氦氣，能夠完成漏孔的準(zhǔn)確定位;真空氦罩法選用有必定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來(lái)，在罩內(nèi)充溢必定濃度的氦氣，能夠完成被檢產(chǎn)品總漏率的測(cè)量。
真空法氦檢漏儀維修的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，能夠準(zhǔn)確定位，能完成大容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。