產(chǎn)品名稱：3d光學(xué)輪廓顯微鏡
產(chǎn)品型號(hào)：pz-3010d
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：使用sensofar有技術(shù)開發(fā)的neox光學(xué)輪廓儀，集成了共聚焦計(jì)數(shù)和干涉測(cè)量技術(shù)，并具有薄膜測(cè)量能力，該系統(tǒng)可以用于標(biāo)準(zhǔn)的明場(chǎng)彩色顯微成像，共焦成像，三維共焦建模，psi、vsi及高分辨率薄膜厚度測(cè)量。
產(chǎn)品概述&參數(shù)
產(chǎn)品特點(diǎn)：
3d光學(xué)輪廓顯微鏡使用sensofar有技術(shù)開發(fā)的neox光學(xué)輪廓儀，其共聚焦部分的主要優(yōu)點(diǎn)是有著*發(fā)光效率的照明硬件和高對(duì)比度算法。這些特點(diǎn)使系統(tǒng)成為測(cè)量有著陡峭斜面、粗糙的、反光表面和含有異種材料樣品的理想設(shè)備。高品質(zhì)干涉光學(xué)系統(tǒng)和集成壓電掃描器是干涉輪廓儀部分的關(guān)鍵。這項(xiàng)技術(shù)對(duì)于測(cè)量非常光滑至適度粗糙的表面比較理想。這些技術(shù)的組合為neox輪廓儀提供了無限寬廣的應(yīng)用領(lǐng)域。
可用于標(biāo)準(zhǔn)的明場(chǎng)彩色顯微成像、共焦成像、三維共焦建模、psi、vsi及高分辨率薄膜厚度測(cè)量。沒有移動(dòng)部件使其擁有堅(jiān)固而緊湊的設(shè)計(jì)，同時(shí)也使得該探頭適合很多oem應(yīng)用。極其簡(jiǎn)單的、符合人體工程學(xué)的軟件界面使用戶獲得非?？斓臏y(cè)量速度，只需方便地切換適當(dāng)?shù)奈镧R，調(diào)焦，并選擇適當(dāng)?shù)牟杉Ｊ郊纯伞?br>產(chǎn)品功能：
※共聚焦 (confocal profiling)
共聚焦輪廓儀可以測(cè)量較光滑或非常粗糙的表面高度。借助消除虛焦部分光線的共焦成像系統(tǒng)，可提供高對(duì)比度的圖像。籍由表面的垂直掃描，物鏡的焦點(diǎn)掃過表面上的每一個(gè)點(diǎn)，以此找出每個(gè)像素位置的對(duì)應(yīng)高度(即共聚焦圖像)。
共聚焦輪廓儀可以由其光學(xué)組件實(shí)現(xiàn)超高的水平解析度，空間采樣可以減小到0.10μm，這是一些重要尺寸測(cè)量的理想選擇。高數(shù)值孔徑na(0.95)和放大倍率(150x和200x)的物鏡可測(cè)量斜率超過70°的光滑表面。neox具有*的光效，共聚焦算法可提供納米級(jí)的垂直方向重復(fù)性。超長(zhǎng)工作距離(slwd)可測(cè)量高寬比較大、形狀較陡的樣品。