近日，由全國城市工業(yè)品貿(mào)易中心聯(lián)合會歸口管理，武漢友美科自動化有限公司等相關單位共同起草的《等離子體化學氣相沉積光纖預制棒制備設備》編制完成并征求意見，時間截止到2023年5月12日。(反饋至biaozhun@ceun.org)
本文件規(guī)定了等離子體化學氣相沉積光纖預制棒制備設備的術語和定義、設備構(gòu)成、要求、現(xiàn)場調(diào)試。本文件適用于等離子體化學氣相沉積光纖預制棒制備設備的生產(chǎn)與檢驗。
設備構(gòu)成主要包含以下部分:pcvd沉積床;pcvd流量柜;自動控制與保護系統(tǒng);pcvd熔縮床;石墨爐系統(tǒng);預熱爐;真空系統(tǒng)。
各種鹵化物sicl4、gecl4的蒸氣和o2、c2f6、bci3等氣體的混合物從氣體流量控制柜中輸出到石英玻璃反應管中，石英玻璃管另一端連接到真空泵，使石英玻璃管中的混合氣體維持在1kpa左右。石英玻璃管被一只金屬諧振腔環(huán)繞，頻率為2450mhz的微波能量輸入到諧振腔中，使反應管中的原料氣體電離形成等離子體并產(chǎn)生化學反應。諧振腔沿石英玻璃管快速運動，形成厚度小于1μm的薄膜，均勻地沉積在管壁內(nèi)，當達到一定厚度時，將玻璃管進行熔縮，支撐光纖預制棒。
控制系統(tǒng)控制內(nèi)容包括:
——主控系統(tǒng):應能自動以曲線圖形式記錄各個流量值、平移、旋轉(zhuǎn)的速度、溫度等;
——反應物流量控制系統(tǒng):應能通過測量載氣量和載氣與原料比率，控制物料蒸汽流量;
——反應物料料溫控制系統(tǒng):應實時監(jiān)測物料溫度，并實時進行溫度調(diào)整;
——微波腔體載臺平移控制系統(tǒng):應能通過交流伺服驅(qū)動器實現(xiàn)沉積平移，每段斜率應能獨立調(diào)節(jié)，其相關技術指標應能在計算機屏幕上動態(tài)顯示;
——反應管控制系統(tǒng):應能任意調(diào)節(jié)，角度精確到1°;
——壓力控制系統(tǒng):混合腔的壓力及出氣端壓力應能通過調(diào)節(jié)氧氣的補給量自動控制;
——預熱爐爐溫控制及升降動作系統(tǒng):應能對爐溫進行實時調(diào)節(jié)，并應實現(xiàn)預熱爐的升降、開合動作要求;
——冷卻水路監(jiān)控系統(tǒng):應能對冷卻水路進行實時監(jiān)控。
pcvd熔縮設備及控制系統(tǒng)包括:
——主控制:應實時監(jiān)控走速、旋轉(zhuǎn)速度、壓力、流量等;
——流量控制:應根據(jù)工藝需求對氫氧焰的火力大小進行控制;
——旋轉(zhuǎn)控制:應采用交流伺服系統(tǒng)保證旋轉(zhuǎn)運動勻速進行;
——平移控制:應根據(jù)工藝需求實現(xiàn)離合切換的快慢走速，并能在計算機上動態(tài)顯示;
——壓力控制系統(tǒng):應同時控制進氣端壓力、出氣端壓力、火焰大小;
——熔縮設備總控制:應實現(xiàn)全過程的全自動控制。
相關資料下載：
《等離子體化學氣相沉積光纖預制棒制備設備》編制說明.pdf
《等離子體化學氣相沉積光纖預制棒制備設備》征求意見.docx