真空快速退火爐用于小零件等在真空狀態(tài)下的退火；爐罐密封性好，有效的避免了工件在退火處理中的表面氧化、生銹，提高了處理質(zhì)量；
真空快速退火爐應(yīng)用領(lǐng)域介紹：
- 離子注入/接觸退火；
- 快速熱處理(rtp)，快速退火(rta)，快速熱氧化(rto)，快速熱氮化(rtn)；
- 可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環(huán)境下使用；
- siau, sial, simo合金化；
- 低介電材料；
- 晶體化，致密化；
- 太陽(yáng)能電池片鍵合；
真空快速退火爐使用的注意事項(xiàng)有：
1. 爐子使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后，要在120℃左右烘烤1小時(shí)，在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用，以免造成爐膛開(kāi)裂。爐溫盡量不要超過(guò)額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內(nèi)的清潔。
2. 爐膛若采用石英管，當(dāng)溫度高于1000℃時(shí)，石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象，這叫失透（又叫析晶性）是連熔石英管的一個(gè)固有缺陷，屬正常現(xiàn)象。
3. 冷爐使用時(shí)，由于爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過(guò)快，各溫度段的升
溫速率差別不易太大，設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì)，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象，污染爐管。
4. 定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好，應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。
5. 爐子使用過(guò)一段時(shí)間后，若真空度降低，可分別更換不銹鋼法蘭盤(pán)之間的耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭盤(pán)或更換修理真空系統(tǒng)，以提高系統(tǒng)的整體真空度。
6. 爐子在工作過(guò)程中，一般在300℃左右若控制偏差還不能消除，出現(xiàn)溫度顯示值與程序給定值不符或擺動(dòng)過(guò)大，檢查參數(shù)“m5、p、t”設(shè)置是否準(zhǔn)確。