近日，國家標(biāo)準(zhǔn)計劃《鎳鉑靶材合金化學(xué)分析方法 第2部分：鎂、鋁、鈦、釩、鉻、錳、鐵、鈷、銅、鋅、鋯、銀、鈀、錫、釤、鉛、硅含量的測定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法》編制完成并征求意見，時間截止到2023年6月17日。主要起草單位為貴研鉑業(yè)股份有限公司、貴研檢測科技(云南)有限公司、北京有色金屬與稀土應(yīng)用研究所有限公司等。
半導(dǎo)體用濺射鎳鉑靶材對質(zhì)量要求非常高,尤其是對化學(xué)純度的控制,原因是雜質(zhì)的存在將嚴(yán)重影響靶材及相應(yīng)薄膜的質(zhì)量,引起濺射時異常放電等現(xiàn)象。目前國內(nèi)外鎳鉑合金靶材在純度方面的差距顯著，國內(nèi)所生產(chǎn)的鎳鉑合金靶材能達(dá)到4n級，而日本相關(guān)靶材廠家制備的鎳鉑靶可以達(dá)到5n級以上。因此雜質(zhì)元素分析結(jié)果的準(zhǔn)確和分析方法的標(biāo)準(zhǔn)化是確保產(chǎn)品質(zhì)量的必要條件之一，也是判定產(chǎn)品等級的重要指標(biāo)，制訂相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)分析方法是非常有必要的。
根據(jù)ys/t 937-2013鎳鉑靶材合金產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)中 nipt3、nipt5、nipt10、nipt15、nipt30、nipt45、nipt60等中雜質(zhì)含量的準(zhǔn)確、快速測定要求，電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜下限不能滿足產(chǎn)品要求，因此采用電感耦合等離子體質(zhì)譜法測定。
原理：試料以鹽酸-硝酸聚四氟乙烯燒杯溶解，鐵、硅以銃為內(nèi)標(biāo)，在反應(yīng)池(drc)工作模式下測定其同位素的信號強度;釩以銃為內(nèi)標(biāo)，在碰撞池(ked)工作模式下測定其同位素的信號強度;鎂、鋁、鈦、鉻、釩、錳、鈷、鋅以銃為內(nèi)標(biāo)，在正常工作模式下測定其同位素的信號強度;銅、錯、鈀、銀、錫以釗為內(nèi)標(biāo)，在正常工作模式下測定其同位素的信號強度;夠、鉛以鐐為內(nèi)標(biāo)，在正常工作模式下測定其同位素的信號強度。
儀器：電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(工作參數(shù)見附錄a)。
ys/t 937-2013鎳鉑靶材產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，附錄c測定雜質(zhì)含量，但此方法中沒有說明內(nèi)標(biāo)元素對應(yīng)要校正的所測元素，而且方法中沒有重復(fù)性及再現(xiàn)性結(jié)果。
本方法采用sc、y、re為內(nèi)標(biāo)控制所對應(yīng)要測定的元素，保證測定的準(zhǔn)確性，且增加重復(fù)性及再現(xiàn)性結(jié)果計算。保證了方法的適用及準(zhǔn)確。
本標(biāo)準(zhǔn)的制定，對考察產(chǎn)品等級，公平、公正交易，維護行業(yè)最佳秩序，促進最佳共同效益和推廣應(yīng)用具有重要意義。同時，也為產(chǎn)品質(zhì)量保證提供有力支撐。
相關(guān)資料下載：
編制說明_鎳鉑靶材合金化學(xué)分析方法 第2部分：鎂、.pdf
征求意見稿_鎳鉑靶材合金化學(xué)分析方法 第2部分：鎂、.pdf