1、重復(fù)定位精度測量原理 重復(fù)定位精度測量主要用到干涉儀的線性測量，即對待測平移裝置的定位進(jìn)行多次測量，比較得到同一位移指令下的定位精度。 線性度測量是激光干涉儀的基本測量，原理如圖所示。將一個(gè)角錐反射鏡安裝到分光鏡上，組成線性干涉鏡，它形成干涉儀的參考光路。另一個(gè)角錐反射鏡安裝到待測目標(biāo)上，它與干涉鏡之間形成干涉儀的測量光路。隨著平移裝置多次位移，每移動設(shè)定位移量之后，由干涉儀記錄測量光路改變量，即平移裝置的位移量。
2、測量數(shù)據(jù)處理 重復(fù)定位精度包括平移裝置的單點(diǎn)定位精度和整個(gè)位移范圍內(nèi)的不同位置點(diǎn)上的定位精度兩種。前者可以通過調(diào)整裝置使多次移動到同一標(biāo)稱位置，并暫停幾秒，記錄位移量；測量其位移偏差量；后者擇在整個(gè)位移范圍不同位置點(diǎn)上測量實(shí)際位移與標(biāo)稱值的偏差，使待測位移裝置移動到目標(biāo)位置點(diǎn)，并暫定進(jìn)行測量。將多次定位測量數(shù)據(jù)進(jìn)行分析處理，得到裝置的重復(fù)定位精度。3、重復(fù)定位精度測量用組件 重復(fù)定位精度測量用到的激光干涉儀組件： 激光干涉儀測頭、線性測量光學(xué)鏡組、光路折轉(zhuǎn)量光學(xué)鏡組、環(huán)境補(bǔ)償單元、leice measure測量軟件、leice analysis 分析軟件。4、重復(fù)定位精度測量應(yīng)用數(shù)控機(jī)床/坐標(biāo)測量機(jī)導(dǎo)軌的重復(fù)定位精度測量機(jī)床x、y軸平移臺的重復(fù)定位精度測量高精度機(jī)械元件的校準(zhǔn)線性電機(jī)或壓電陶瓷平移臺的重復(fù)定位精度測量