x射線(xiàn)熒光光譜儀(xrf，是一種快速的、非破壞式的物質(zhì)測(cè)量方法。x射線(xiàn)熒光是用高能量x射線(xiàn)或伽瑪射線(xiàn)轟擊材料時(shí)激發(fā)出的次級(jí)x射線(xiàn)。這種現(xiàn)象被廣泛用于元素分析和化學(xué)分析，特別是在金屬，玻璃，陶瓷和建材的調(diào)查和研究，地球化學(xué)，法醫(yī)學(xué)，考古學(xué)和藝術(shù)品，例如油畫(huà)和壁畫(huà)。
xrf用的是物理原理來(lái)檢測(cè)物質(zhì)的元素，可進(jìn)行定性和定量分析。即通過(guò)x射線(xiàn)穿透原子內(nèi)部電子，由外層電子補(bǔ)給產(chǎn)生特征x射線(xiàn)，根據(jù)元素特征x射線(xiàn)的強(qiáng)度，即可獲得各元素的含量信息。這就是x射線(xiàn)熒光分析的基本原理。它只能測(cè)元素而不能測(cè)化合物。但由于xrf是表面化學(xué)分析，故測(cè)得的樣品必須滿(mǎn)足很多條件才準(zhǔn)，比如表面光滑，成分均勻。如果成分不均勻，只能說(shuō)明在xrf測(cè)量的那個(gè)微區(qū)的成分如此，其他的不能表示。
xrf的優(yōu)點(diǎn)如下：
1、分析速度高。測(cè)定用時(shí)與測(cè)定精密度有關(guān)，但一般都很短，2-5分鐘就可以測(cè)完樣品中的全部元素。
2、非破壞性。在測(cè)定中不會(huì)引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測(cè)量，結(jié)果重現(xiàn)性好。
3、分析精密度高。
4、制樣簡(jiǎn)單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。
5、測(cè)試元素范圍大，wdx可在ppm-100%濃度下檢測(cè)b5-u92，而edx可在1ppm-100ppm下檢測(cè)大多數(shù)元素，na11-u92。此外還可以檢測(cè)cu合金中的be含量。
6、可定量分析材料元素組成，分辨率高，探針尺寸為500μm (wdx), 75μm (edx)。