edmund optics阿秒多層反射鏡#16

發(fā)布時(shí)間:2023-10-30
極紫外光(euv)阿秒多層反射鏡設(shè)計(jì)用于阿秒脈沖的轉(zhuǎn)向、聚焦和整形。他們的多層膜中心位于65ev(19nm),帶寬為6ev(1.8nm),為 s 偏振光提供38%的峰值反射率。這些反射鏡支持持續(xù)時(shí)間為330阿秒的極紫外(euv)脈沖。 ufi極紫外(euv)阿秒反射鏡是基于高次諧波(hhg)、自由電下面文章將為您具體講解下《優(yōu)勢(shì)供應(yīng)edmund optics阿秒多層反射鏡#16》等內(nèi)容,還請(qǐng)感興趣的繼續(xù)閱讀了解一下,謝謝!
極紫外光(euv)阿秒多層反射鏡設(shè)計(jì)用于阿秒脈沖的轉(zhuǎn)向、聚焦和整形。他們的多層膜中心位于65ev(19nm),帶寬為6ev(1.8nm),為 s 偏振光提供38%的峰值反射率。這些反射鏡支持持續(xù)時(shí)間為330阿秒的極紫外(euv)脈沖。 ufi極紫外(euv)阿秒反射鏡是基于高次諧波(hhg)、自由電子激光器(fel)或其他量子光學(xué)應(yīng)用產(chǎn)生和整形阿秒脈沖的理想選擇??商峁┲睆綖?5.4mm的平面反射鏡和凹面反射鏡;如果您的應(yīng)用需要定制中心能量、帶寬或其他規(guī)格的極紫外(euv)多層反射鏡,請(qǐng)與我們聯(lián)系。
性能特點(diǎn)
設(shè)計(jì)用于65ev(19nm)下的 330 阿秒脈沖具有38%峰值反射率的多層鍍膜≤1å 表面粗糙度超拋光基底另外提供專(zhuān)為5nm 設(shè)計(jì)的極紫外(euv)平面反射鏡 和 極紫外(euv)球面反射鏡
技術(shù)參數(shù)
直徑 (mm):25.40 ±0.13
基底: 熔融石英(corning 7980)
表面質(zhì)量:10-5 (基質(zhì))
涂層規(guī)格:rs > 38% @ 65ev/19nm
涂層: 多層euv (19nm)
入射角 (°):5
有效孔徑 (%):80設(shè)計(jì)波長(zhǎng) dwl (nm):19
邊緣: 精細(xì)研磨
表面粗糙度(埃):<1
中心能源(ev):65 ±2
帶寬 (ev):6
支持的脈沖持續(xù)時(shí)間:330阿秒
邊緣厚度 et (mm):6.35 ±0.20
有效焦距 efl (mm):500.00
半徑 r1 (mm):1000.00
產(chǎn)品參數(shù)
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