與力平衡式相＆，電容式壓力變送器沒有傳動n構(gòu)，因而r0緊湊．抗振性好。r由于度高．調(diào)整零點和量程時互不干擾，近來獲得r泛地應用。我國西安和北京都b從美國rosemounl公司引進生產(chǎn)線，它包括ⅱ力、差壓、壓力、帶開方的蔫壓（用于測流量）等品種，及高差壓、傲差壓、高靜壓等規(guī)格，
從工業(yè)生產(chǎn)過程自動化的應用數(shù)量米說，差壓變送器比壓力變送器還多．此處按差壓介紹，原理和結(jié)構(gòu)與測ⅲ力的基本上一洋。
電容式差壓傳感器的原理。
將左右對稱的不銹鋼基座2和3的外側(cè)加t成ⅱ狀波紋溝槽，并焊±渡紋隔離膜片i和4。基座內(nèi)側(cè)有玻璃層5．基座和玻璃屢*都有孔，玻璃層內(nèi)表面軎成口球面，球面除邊緣部分外鍍“盒ⅸ膜6．此金屬膜層有導鰻通往外部，為電容的左右定極板．左右對稱的上述結(jié)構(gòu)*夾^并焊接彈性平膜片．即測量膜片7．為電喜的中兜動敏板。測量膜片左右空間被分隔成兩r室．故有兩室結(jié)椅之稱，國外也有室結(jié)構(gòu)的傳感器．其左右州室有管路相通。
在測量膜片左右兩室中充滿硅油．當左右隔目3 6 1ⅲ$镕目∞q#《}＆*《#離膜片分別承受高壓舢和低壓a時．硅油的不可ⅲ縮性和流動性便能將差ⅲjp=“一p。傳遞到測量膜片的左右ⅲ±。困為測量膜片在焊接前加有預張力，所以當差壓ap一0時十分平整使得定板板左右兩電容的容量完壘相等．即c—c．電容量的差值為零，在有差壓作用時．測量膜片發(fā)生變形，乜就是動檻板向低壓側(cè)定極扳靠近．同時遠離高壓側(cè)定極板，使得電容c c>c“。可見，這就是差動電容式壓力變送器或差壓傳感器。
采用差動電容式壓力變送器的好處是．靈蛐度高．可改善線性，井呵喊少由于介電常數(shù)s受溫度影響引起的不穩(wěn)定性。
為了分析*動彀扳引起的阿刪電容變化．呵參看示意圉，圖3 s 2。
在圖3 6 20）中，無差ⅲ時．動啞板兩側(cè)初始電存皆勻（1．有差壓時．動嘏扳變形到虛線位置，它與初始位髓q的假想電容值用（、一表i。虛線位置和低壓側(cè)定掇ⅸ問的電容為c。，與高壓側(cè)定極板間的電容為。一。這口個電容c…c．c．c”之間有圖（3 6 2）（6）的等效關(guān)系。
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