西班牙das-nano公司成立于2012年，是一家專(zhuān)注研發(fā)高安全級(jí)別打印設(shè)備、太赫茲無(wú)損檢測(cè)設(shè)備以及個(gè)人身份安全驗(yàn)證設(shè)備的高科技公司。近日，該公司重磅推出了可以實(shí)現(xiàn)大面積（8英寸wafer）石墨烯和其他二維材料的100%全區(qū)域無(wú)損非接觸快速電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)-onyx。
石墨烯/二維材料電學(xué)性質(zhì)非接觸快速測(cè)量系統(tǒng)-onyx 設(shè)備圖
onyx采用一體化的反射式太赫茲時(shí)域光譜技術(shù)（thz-tds）彌補(bǔ)了傳統(tǒng)接觸測(cè)量方法（如四探針?lè)? four-probe method，范德堡法-van der pauw和電阻層析成像法-electrical resistance tomography）及顯微方法（原子力顯微鏡-afm, 共聚焦拉曼-raman，掃描電子顯微鏡-sem以及透射電子顯微鏡-tem）之間的不足和空白。onyx可以快速測(cè)量從0.5 mm2到~m2的石墨烯及其他二維材料的電學(xué)特性，為科研和工業(yè)化提供了一種顛覆性的檢測(cè)手段。與其他大面積測(cè)試方法（例如四探針?lè)椒ǎ┫啾龋琽nyx能夠測(cè)量樣品質(zhì)量的空間分布信息，并且屬于無(wú)損測(cè)試，在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中不會(huì)對(duì)樣品產(chǎn)生任何損傷。與傳統(tǒng)顯微方法相比，對(duì)大面積的樣品可以以微米級(jí)的空間分辨率快速表征，能夠*的節(jié)約測(cè)量時(shí)間，提高效率[1,2]。
onyx參數(shù)及特點(diǎn)
樣品大小: 10x10mm-200x200mm
超快測(cè)量速度：12cm2/min
樣品100%全覆蓋測(cè)量
無(wú)需樣品制備
可定制樣品測(cè)量面積(m2量級(jí))
zui高分辨率：50μm
非接觸快速測(cè)量
無(wú)損快速測(cè)量
onyx主要功能
→直流電導(dǎo)率（σdc）
→載流子遷移率,μdrift
→直流電阻率,rdc
→載流子濃度,ns
→載流子散射時(shí)間，τsc
→表面均勻性
onyx應(yīng)用方向
石墨烯 光伏薄膜材料 半導(dǎo)體薄膜 電子器件
pedot 鎢納米線(xiàn) gan顆粒 ag 納米線(xiàn)
目前，onyx在研究機(jī)構(gòu)和工業(yè)化領(lǐng)域已經(jīng)安裝多套設(shè)備，包括：丹麥技術(shù)大學(xué)（dtu），牛津儀器，德國(guó)bosh公司，lg化學(xué)，3m公司，西班牙graphenea公司等。quantum design中國(guó)子公司也于2020年正式將該產(chǎn)品引進(jìn)中國(guó)，為中國(guó)客戶(hù)提供高效的技術(shù)支持和解決方案，歡迎廣大科研工作者垂詢(xún)。
參考文獻(xiàn)
[1] cultrera, a., serazio, d., zurutuza, a. et al. mapping the conductivity of graphene with electrical resistance tomography. sci rep 9, 10655 (2019).
[2] melios, c., huang, n., callegaro, l. et al. towards standardisation of contact and contactless electrical measurements of cvd graphene at the macro-, micro- and nano-scale. sci rep 10, 3223 (2020).