測量顯微鏡是采用用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄像磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試儀器。廣泛地適用于計量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。工作臺除作x、y坐標(biāo)的移動外，還可以作360度的旋轉(zhuǎn)，亦可以進(jìn)行高度方向做z坐標(biāo)的測量；采用雙筒目鏡觀察。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器進(jìn)一步可連接ccd電視攝像頭，作工件的輪廓放大；亦可連接計算機進(jìn)行數(shù)據(jù)處理等測量。
技術(shù)參數(shù)：
1、鏡筒：粗動：調(diào)節(jié)范圍 90毫米，微動：調(diào)節(jié)范圍2毫米，高（z）測量：范圍1毫米，讀數(shù)min0.001毫米（比較測量），鏡筒：雙目鏡筒 俯角45度；
2、工作臺：左右（x軸）：移動范圍25毫米，前后（y軸）：移動范圍25毫米，分辨率：1微米，旋轉(zhuǎn)：360度；
3、照明系統(tǒng)：光源：透射照明，8v12w 藍(lán)、綠色濾光片、反射照明，8v12w 磨沙燈泡、綠色透光片、斜 照 明、8v12w綠色濾光片、電源：ac220±22v 50/60hz；
4、光學(xué)系統(tǒng)：目鏡：bwf 10x；物鏡：4x、工作距離17.5、焦距28.8，10x、工作距離11.6、焦距15.4，40x、工作距離0.66、焦距4.4；
5、x---y軸測量范圍：50×13mm；
6、測微器分度值：0.01mm；
7、圓工作臺角度測量范圍：0°/360°；
8、儀器測量準(zhǔn)確度：儀器示值誤差±(5+l/15)；
9、放大倍數(shù) 25×/100×