誠峰智造廠CRF研發(fā)的等離子體發(fā)生器可增強(qiáng)IV封裝的品質(zhì)

發(fā)布時(shí)間:2024-07-06
誠峰智造廠crf研發(fā)的等離子體發(fā)生器可增強(qiáng)iv封裝的品質(zhì):
誠峰智造廠crf研發(fā)的等離子體發(fā)生器主要用于清潔液晶面板的活化氣體是氧等離子體。等離子體清潔以清除油污和有機(jī)污染物顆粒,因?yàn)檠醯入x子體可以氧化有機(jī)物并形成氣體排放。增強(qiáng)偏光板粘貼的成品率,大大提高電極與導(dǎo)電膜的附著力,提高產(chǎn)品質(zhì)量和穩(wěn)定性。
等離子體發(fā)生器事實(shí)上是1種精度高的干式清潔設(shè)備。等離子體處理設(shè)備的清潔范圍為納米級(jí)有機(jī)和無機(jī)污染物。低壓氣體光等離子體主要用于等離子體發(fā)生器的處理和應(yīng)用。一些非聚合物無機(jī)氣體(ar.n2.h2.o2等)受到高頻和低壓的刺激,產(chǎn)生各種活性粒子,如離子、激發(fā)態(tài)分子和自由基。
等離子體發(fā)生器的處理可分為兩類:一種是稀有氣體的等離子體(如ar.n2等);另一類是反應(yīng)性氣體的等離子體(如o2.h2等)。這些活性粒子可以與表面材料發(fā)生反應(yīng),并刺激態(tài)分子清潔活化表面。等離子體產(chǎn)生的原理如下:對(duì)一組電極施加射頻電壓(頻率約為幾十兆赫茲),在交變電場(chǎng)的沖擊下,在電極之間形成高頻交變電場(chǎng)區(qū)域內(nèi)的氣體產(chǎn)生等離子體。活性等離子體對(duì)被清潔物體進(jìn)行表面物理轟擊和化學(xué)反應(yīng),使被清潔物體的表面物質(zhì)變成顆粒和氣體物質(zhì),通過抽真空排出達(dá)到清潔的目的。隨著lcd工藝水平的快速發(fā)展,lcd制造技術(shù)的極限不斷受到挑戰(zhàn),并發(fā)展成為代表制造技術(shù)的前沿技術(shù)。在清潔行業(yè),清潔的要求也越來越高,常規(guī)清潔不能滿足要求,等離子體發(fā)生器更理想地解決了這些精密清潔的要求,滿足了當(dāng)今的環(huán)境保護(hù)情況。
集成電路包裝的質(zhì)量對(duì)微電子設(shè)備的可靠性有決定性的影響。鍵合區(qū)域必須無污染物,并具有良好的鍵合特性。氧化物、有機(jī)殘留物等污染物的存在會(huì)嚴(yán)重削弱導(dǎo)線鍵合的張力值。傳統(tǒng)的濕清潔不能清除或不能清除鍵合區(qū)域的污染物,等離子體發(fā)生
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