離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng)，對于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進行清潔，之后試樣復(fù)原，再進行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。
離子濺射儀常見故障
故障現(xiàn)象：使用一段時間后，濺射電流變小
解決方法：對靶材有無變色、破裂和油污等現(xiàn)進行檢查。前兩者對靶材進行更換，后者被油蒸汽污染，通過無水乙醇進行清潔，等到干了以后才能夠抽真空。
故障現(xiàn)象：在使用一段時間以后，有著過低的真空。
解決方法：對濺射室中或管道內(nèi)是否有油進行檢查，能夠使用汽油進行清洗。
故障現(xiàn)象：濺射電流不穩(wěn)定忽高忽低
解決方法：陰極罩與靶的固定環(huán)有著過近的距離，將陰極罩逆時針旋轉(zhuǎn)，對間距進行調(diào)整。
故障現(xiàn)象：有著過低的真空
解決方法：將放氣閥、漏氣閥和觀察泵的油窗液面旋緊。