離子濺射儀常見的故障

發(fā)布時間:2024-07-05
離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng),對于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時,交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進行清潔,之后試樣復(fù)原,再進行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料,有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料,氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。
離子濺射儀常見故障
故障現(xiàn)象:使用一段時間后,濺射電流變小
解決方法:對靶材有無變色、破裂和油污等現(xiàn)進行檢查。前兩者對靶材進行更換,后者被油蒸汽污染,通過無水乙醇進行清潔,等到干了以后才能夠抽真空。
故障現(xiàn)象:在使用一段時間以后,有著過低的真空。
解決方法:對濺射室中或管道內(nèi)是否有油進行檢查,能夠使用汽油進行清洗。
故障現(xiàn)象:濺射電流不穩(wěn)定忽高忽低
解決方法:陰極罩與靶的固定環(huán)有著過近的距離,將陰極罩逆時針旋轉(zhuǎn),對間距進行調(diào)整。
故障現(xiàn)象:有著過低的真空
解決方法:將放氣閥、漏氣閥和觀察泵的油窗液面旋緊。
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